檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "徐世祥".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="濺鍍法"
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本研究開發氧化矽閘極絕緣膜及多晶矽膜之低溫濺鍍沉積技術,以利塑膠基板上薄膜電晶體之製作。此外,我們利用準分子雷射退火技術實現鍺膜之超級橫向成長,並觀察此長晶現象。本研究在室溫下藉由脈衝直流磁控反應性…